한국, 서울 - Media OutReach - 2021년 12월 15일 - Advanced Energy(나스닥: AEIS)는 고도의 엔지니어링, 정밀 전력 변환, 측정 및 제어 솔루션 분야의 글로벌 리더로서 오늘 GEMINI™ 5540A Rf(Radio Frequency) Power Meter를 발표했습니다. 새로운 Power Meter는 반도체, 통신, 산업 및 의료 시장에서 정밀한 RF 전력 제어가 필요한 적용을 위해 유연하고 편리한 통합 장치에서 매우 정확한 in-line RF 전력 측정 기능을 제공합니다. Advanced Energy는 반도체 업계의 RF 전력 솔루션 선두업체로서 플라즈마 power control 그리고 첨단 에치 및 증착 프로세스의 성능을 개선하기 위한 새로운 기능을 지속적으로 제공하고 있습니다.

Sensor 와 Meter를 하나로 결합되는 GEMINI 5540A는 0.2~200MHz의 주파수 범위를 가지며,  ±0.5% + 0.5W의 2-sigma 정확도로 3~5,000W의 전력을 공급합니다. 이 통합 계측기를 통해 사용자는 RF 전력의 정확한 측정 및 제어가 필요한 Application에 대해  여러 계측기를 하나의 Meter로 대체할 수 있습니다.

Advanced Energy의 중요 감지 및 제어 제품 부사장 Gerry Blumenstock은 "high aspect ratio (HAR) 플라즈마 에치와 같은 까다로운 반도체 공정에서, RF 시스템의 정밀 제어 및 챔버 대 챔버 매칭은 공정 성능에 직접적인 영향을 미친다. 새로운 GEMINI 5540A를 통해 OEM은 시스템을 정확하게 보정하고 RF 전력을 실시간으로 모니터링할 수 있어 최첨단 플라즈마 기반 공정의 정확도와 균일성을 향상시킬 수 있다."라고 말했습니다.

GEMINI 5540A는 정방향 및 역방향 전력, voltage standing wave ratio (VSWR) 및 주파수를 동시에 보여주어 판독이 용이한 대형 OLED 디지털 디스플레이를 가지고 있습니다.이 제품은 정방향 및 역방향 전력 측정에 재구성할 필요 없이 주파수를 자동으로 감지합니다.Meter 의 calibration주기가 기존제품들의 6개월에서 12개월로 줄었으며, 제품은 외부 배터리 또는 AC 전원 콘센트와 기성 USB 어댑터를 사용하여 표준 USB 2.0 포트를 통해 공급되는 5V, 500mA 입력으로 작동합니다.

Meter 는 직접 측정할 뿐만 아니라 Advanced Energy의 GEMINI Tools 데이터 시각화 소프트웨어를 사용하여 데이터를 수집, 저장 및 감사하기 위해 PC에 연결할 수도 있습니다.

자세한 제품 정보 및 기술 사양은 www.tegam.com/shop/rf-microwave/power-meters/no-product/gemini-5540a-rf-power-meter를 방문하여 확인하십시오.