AEのParamount製品ファミリーを拡大するParamount HP 10013 ジェネレータは、さらなる高出力でプロセス高速化と歩留まり向上を実現

東京，日本 - Media OutReach - 2021年1月20日 - Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) -- 高度なエンジニアリングの高精度電力変換、計測、制御ソリューションのグローバルリーダーである同社は 本日 、最上位機種のParamount^® RF （高周波）電源ファミリーを拡大する新製品Paramount HP 10013 を発表しました。

半導体及び産業用成膜工程のために設計されたParamount HP 10013は、業界をリードするAEのプラズマ用給電システムに基づいており、対象にはコンダクターエッチング、絶縁膜エッチング、デポジション（堆積）、スパッタリング、イオン注入等が含まれます。Paramount HP 10013はParamount 13.56 MHzプラットフォームにさらに高出力の10 kW能力を備え、高精度・高繰り返しのパルスパワーが低平均電力での高インパルスエネルギーが可能で実現します。この高出力化がプラズマ密度とイオンエネルギーを向上させ、より高速で深堀りのエッチング及びデポジションの高速化、最先端の高アスペクト比デバイス構造の要件や新興のアプリケーションに対応しています。

「ICが民生用、エンターテインメント、製造、コンピューティング、交通その他多くの市場のほとんど全製品の一部になった今、私たちの業界が直面しているのは高精度プロセス用電源の従来にない広範なアプリケーション範囲とそれに伴う数々の課題です」とAdvanced Energy の半導体及びコンピューティング製品担当シニアバイスプレジデントのPeter Gillespieは語っています。「AEのParamount製品ファミリーは、業界初の採算化可能な全デジタルRF電源としてパルスRF電源の先駆けとなりました。今回の高出力ソリューションの発売で、AEのカスタマーはより複雑化した3次元アーキテクチャの創造や新材料におけるイノベーションが可能になります」。

Paramountプラットフォームのデジタルアーキテクチャは、高精度の電力管理を備え、ハードウェアの変更なしで新機能統合を簡素化します。またフルデジタル制御によりプラズマの動的でリアルタイムな検知が可能で、再現性を備えた高出力を発揮します。さらにデジタルインターフェースで、他のRFジェネレータとの同期が可能で、市場をリードするAEのNavigatorライン及びNavigator II デジタルマッチングネットワークとのシームレスな接続を備えています。この両者を合わせると、半導体業界で最も広く採用されているプラズマ用電源ソリューションとなります。

技術的詳細はParamountファミリー 製品ページをご覧下さい。