東京，日本 - Media OutReach - 2021年12月9日 - Advanced Energy (Nasdaq: AEIS) – 高度なエンジニアリングの高精度電力変換、計測、制御ソリューションのグローバルリーダーである同社のプラズマパワージェネレータレンジに本日、業界をリードするパワーとPowerInsight by Advanced Energy™組込みプロセス特性化ソフトウェアによる制御機能を組み合わせた10 kW パルスDC電源が加わり、製品ラインが拡大されました。特許のパルス技術を備えたAscent® SMS AP (Advanced Pulsing) 電源は、半導体からソーラーPV製造までの薄膜形成アプリケーションに最適な、アーク管理と精密なプラズマ制御を備えています。

このコンパクトな10 kW Ascent SMS APは安全動作領域 (SOA) が最も広く、ピーク電圧が最大1200 Vで周波数は 0.5～150 kHzです。そのフル電圧反転での先進的4ブロックアーク管理システムは業界で最高度のソリューションであり、プロセスと動的に連動するアークパラメータの自己調整が可能な最小のアークエネルギーを実現します。このAP の波形は昇圧と電圧反転制御を備え、先進的なパルス形成で、目的とする薄膜モフォロジーに合わせた微調整が可能になります。

「Advanced Energy では、シングルマグネトロンスパッタリングのアプリケーションに従来にない適応性を備えたパルスDC電源のパフォーマンス改良を続けています」とAdvanced Energyのプラズマパワー製品マーケティング担当シニアディレクターの Dhaval Dhayatkarは語っています。"高度に設定可能な波形、先進的アーク管理、クラス最高のSOA、広範な周波数レンジ、独自の PowerInsight プロセス最適化ソフトウェア等の当社の最先端技術を一体化したこの新しい10 kW Ascent SMS AP電源で、カスタマーは最も先進的な半導体処理に可能な最高レベルのプロセス精度、繰り返し性、歩留りを実現できます」。

この新ユニットは、PowerInsightプロセス特性化/最適化ソフトウェアを組み込んだ初の AE電源です。クリティカルな給電システムのデータの収集、分析、変換を簡素化するPowerInsightは実行可能な情報の提供により、プロセス最適化によるスループット/歩留りの改善への適用と、プロセス機器の予期せぬダウンタイム低減にへの対応が可能です。PowerInsight,を備えたAdvanced EnergyのパルスDC電源は、アーキングを最小化しながら薄膜の成膜速度、モフォロジー、成膜性を高めます。

詳細な製品情報と技術仕様はwww.advancedenergy.com/products/plasma-power-generators/pulse-dc-systems/ascent-ap-series.